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Aerotech qnp2 雙軸三軸壓電納米定位平臺

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蘇州高控科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

Aerotech qnp2 雙軸三軸壓電納米定位平臺詳細介紹

Aerotech qnp2 雙軸壓電納米定位平臺

關(guān)鍵詞：納米定位平臺/壓電平臺/壓電雙軸定位平臺

詳細介紹

Aerotech qnp2 雙軸三軸壓電納米定位平臺詳細介紹

Aerotech qnp2 雙軸壓電納米定位平臺

關(guān)鍵詞：納米定位平臺/壓電平臺/壓電雙軸定位平臺

QNP2系列XY并聯(lián)運動壓電定位平臺在緊湊，小巧的封裝中結(jié)合了亞納米級分辨率，高動態(tài)性能和出色的幾何性能。QNP2系列壓電平臺具有大的，清晰的孔徑，閉環(huán)行程可達200 ?m x 200 ?m（開環(huán)行程為240 ?m x 240 ?m）。該設(shè)計非常適合光學顯微鏡，掃描探針顯微鏡，X射線透射顯微鏡或需要兩側(cè)零件訪問的其他檢查或制造應(yīng)用。

XY雙軸壓電陶瓷平臺：

· 移至240 ?m x 240 ?m

· 大方形透明光圈，70 mm x 70 mm

· 通過并聯(lián)運動設(shè)計實現(xiàn)出色的多軸精度

· 高剛度和動態(tài)特性，可實現(xiàn)高工藝產(chǎn)量

· 高精度，無摩擦的撓性導向

· 正在申請的設(shè)計提供了的幾何性能

· 設(shè)備壽命長

· 具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度

· 開環(huán)和真空版本

Mechanical Specifications

Model		QNP2-100XYA-030	QNP2-100XYA-100	QNP2-150XYA-200
Closed-Loop Travel (X x Y)		30 μm x 30 μm	100 ?m x 100 ?m	200 ?m x 200 ?m
Open-Loop Travel, -30 to +150 V⁽¹⁾		36 μm x 36 μm	120 ?m x 120 ?m	240 ?m x 240 ?m
Resolution⁽²⁾	Closed-Loop	0.1 nm	0.30 nm	0.40 nm
Resolution⁽²⁾	Open-Loop	0.03 nm	0.15 nm	0.20 nm
Linearity^(3,4)		0.02%	0.01%	0.01%
Bidirectional Repeatability⁽⁵⁾		4 nm	1 nm	1 nm
Straightness		25 nm	10 nm	10 nm
2D Flatness (Over Full XY Travel)		15 nm	5 nm	15 nm
Pitch		5 μrad (1 arc sec)	1.5 ?rad (0.3 arc sec)	1.5 ?rad (0.3 arc sec)
Yaw		5 μrad (1 arc sec)	12 ?rad (2.5 arc sec)	20 urad (4 arc sec)
Stiffness (in direction of motion)⁽⁶⁾		33 N/μm	2.1 N/?m	1.7 N/?m
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾		2400 Hz	565 Hz	375 Hz
Resonant Frequency (200 gram load)⁽⁶⁾		1725 Hz	380 Hz	290 Hz
Max Payload⁽⁷⁾		1 kg	1 kg	3 kg
Maximum Acceleration (Unloaded)⁽⁸⁾		400 m/s²	170 m/s²	40 m/s²
Moving Mass (Unloaded)		0.14 kg	0.14 kg	0.5 kg
Stage Mass		0.36 kg	0.48 kg	1.2 kg
Material		Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 hours	30,000 hours	30,000 hours

XYZ雙軸壓電陶瓷平臺：

QNP3系列XYZ并聯(lián)運動壓電定位平臺在緊湊的小尺寸封裝中結(jié)合了亞納米分辨率，高動態(tài)特性和出色的幾何性能。QNP3系列壓電平臺具有大的，清晰的孔徑，閉環(huán)行程可達200 ?m x 200 ?m x 20 ?m（開環(huán)行程為240 ?m x 240 ?m x 25 ?m）。該設(shè)計非常適合光學和掃描探針顯微鏡或其他檢查或制造應(yīng)用，這些應(yīng)用需要通過三個DoF操作來進行兩側(cè)零件的訪問。

· 移至240μmx 240μmx 25μm

· 大方形透明光圈，可達66 mm x 66 mm

· 通過平行運動設(shè)計實現(xiàn)出色的多軸精度

· 高剛度和動態(tài)特性，可實現(xiàn)高工藝產(chǎn)量

· 高精度，無摩擦的撓性導向

· 正在申請的設(shè)計提供了的幾何性能

· 設(shè)備壽命長

· 具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度

· 開環(huán)和真空版本

Model		QNP3-100XYAZ-030-10	QNP3-100XYAZ-100-10	QNP3-150XYAZ-200-20
Closed-Loop Travel (X x Y x Z)		30 μm x 30 μm x 10 μm	100 ?m x 100 ?m x 10 ?m	200 um x 200 um x 20 um
Open-Loop Travel, -30 to +150 V⁽¹⁾		36 μm x 36 μm x 12 μm	120 ?m x 120 ?m x 12 ?m	240 um x 240 um x 25 um
Resolution⁽²⁾	Closed-Loop	0.1 nm (XY); 0.15 nm (Z)	0.30 nm (XY); 0.15 nm (Z)	0.4 nm (XY), 0.15 nm (Z)
Resolution⁽²⁾	Open-Loop	0.03 nm (XY); 0.05 nm (Z)	0.15 nm (XY); 0.05 nm (Z)	0.2 nm (XY), 0.1 nm (Z)
Linearity^(3,4)		0.02% (XY); 0.04% (Z)	0.01% (XY); 0.02% (Z)	0.01% (XY); 0.02% (Z)
Bidirectional Repeatability⁽⁵⁾		4 nm (XY); 3 nm (Z)	2 nm (XY); 1 nm (Z)	2 nm (XY); 2 nm (Z)
Straightness		25 nm (XY); 50 nm (Z)	<10 nm (XY); <20 nm (Z)	10 nm (XY); 40 nm (Z)
2D Flatness (Over Full XY Travel)		10 nm	<5 nm	<10 nm
Pitch		10 μrad (2.1 arc sec) (XY) 6 μrad (1.2 arc sec) (Z)	2 ?rad (0.4 arc sec) (XY); 6 ?rad (1.2 arc sec) (Z)	2 urad (0.4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z)
Yaw		5 μrad (1 arc sec) (XY) 5 μrad (1 arc sec) (Z)	10 ?rad (2.1 arc sec) (XY); 5 ?rad (1 arc sec) (Z)	20 urad (4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z)
Stiffness (in direction of motion)⁽⁶⁾		10 N/μm (XY); 25 N/μm (Z)	1.9 N/?m (XY); 13 N/?m (Z)	1.3 N/?m (XY); 8.7 N/um (Z)
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾		1850 Hz (XY); 2200 Hz (Z)	490 Hz (XY); 1425 Hz (Z)	330 Hz (XY); 910 Hz (Z)
Resonant Frequency (200 gram load)⁽⁶⁾		950 Hz (XY); 1390 Hz (Z)	350 Hz (XY); 910 Hz (Z)	260 Hz (XY); 670 Hz (Z)
Max Payload⁽⁷⁾		1 kg	1 kg	3 kg
Max Acceleration (Unloaded)⁽⁸⁾		400 m/s² (XY); 2000 m/s² (Z)	115 m/s² (XY); 2000 m/s² (Z)	35 m/s2 (XY); 1000 m/s2
Moving Mass (Unloaded)		0.24 kg (XY); 0.05 kg (Z)	0.21 kg (XY); 0.05 kg (Z)	0.58 kg (XY); 0.10 kg
Stage Mass		0.53 kg	0.56 kg	1.3 kg
Material		Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours	30,000 Hours	30,000 Hours

精密并聯(lián)運動設(shè)計

QNP2壓電位移臺采用平行運動的彎曲和計量設(shè)計，可確保水平的多軸精度。借助經(jīng)過FEA優(yōu)化的精密撓曲，以確保高剛度和長使用壽命，QNP2位移臺具有的剛度和共振頻率，從而實現(xiàn)了高工藝通量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。

使用正在申請的驅(qū)動器設(shè)計，可將偏航誤差小化，同時仍保持符合Abbe標準的計量系統(tǒng)。這種設(shè)計可在整個XY行程空間內(nèi)實現(xiàn)的定位性能。

亞納米性能

所有QNP2壓電級均可提供閉環(huán)反饋（-C）或開環(huán)（無反饋）。*的電容傳感器并行測量設(shè)計可測量定位支架的輸出，直接實現(xiàn)亞納米分辨率，低于0.01％的線性誤差和一位數(shù)納米可重復性。

超精密控制

與Aerotech的Q系列控制器和驅(qū)動器配合使用時，QNP2位移臺具有亞納米級的定位分辨率，在位穩(wěn)定性（抖動）和高定位帶寬。諸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer軟件包之類的軟件選件提供了許多*而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，從而改善了跟蹤誤差并縮短了分步和穩(wěn)定時間。還提供OEM驅(qū)動器選件。Aerotech的控制器架構(gòu)可輕松實現(xiàn)壓電平臺，伺服系統(tǒng)，步進器和振鏡之間的高速，嚴格控制的協(xié)調(diào)運動。

設(shè)計方案

可選的安裝板可直接安裝到英制或公制面包板光學平臺上。固態(tài)桌面選項也是可用的。QNP2壓電平臺可根據(jù)要求提供定制材料和真空制備版本。

高控科技張巨鵬 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8

Aerotech qnp2 雙軸三軸壓電納米定位平臺