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等離子清洗機(jī) V

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更新時(shí)間:2023-09-01 14:39:28瀏覽次數(shù):207次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)應(yīng)用鏈接:使用等離子的表面處理裝置

詳細(xì)介紹

技術(shù)應(yīng)用鏈接:

使用等離子的表面處理裝置。著重于"使用簡(jiǎn)單"的臺(tái)式高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單,以電子材料為中心,可對(duì)應(yīng)多種用途。

特征
● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機(jī)物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除

未找到相應(yīng)參數(shù)組,請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加

型號(hào)

V1000

V1000X

V1000XS

等離子模式

DP/RIE

高頻電源

13.56MHz

輸出功率

Max1000W

Max1000 & 1500W

有效電極尺寸

W280×D280mm

W300×D300mm

W400×D375mm

電極

平行平板

2段電極(獨(dú)立)

平板(多目的)

反應(yīng)氣體

聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝)

真空泵(標(biāo)配)

約1000L/min

約1500L/min

1000 & 1500L/min

安全裝置

門檢測(cè)開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過(guò)升防止器等

 


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