蘇州上器試驗設備有限公司
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更新時間：2024-01-28 10:41:15瀏覽次數(shù)：176次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機械網(wǎng)美能Poly5000在線膜厚測試儀采用行業(yè)微納米薄膜光學測量創(chuàng)新技術，利用光學干涉原理，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的光譜，快速、連續(xù)監(jiān)測工業(yè)產(chǎn)線上各式薄膜的厚度以及光學常數(shù)，快速準確測量薄膜厚度、光學常數(shù)等信息。
光強均勻、頻譜穩(wěn)定
美能Poly5000在線膜厚測試儀采用鎢鹵素燈，有效光譜范圍320nm~2400nm，發(fā)射出連續(xù)光譜，涵蓋了從紫外線到紅外線的所有光波段。一臺機器覆蓋多臺機器的測量范圍，保證測試結(jié)果的準確性。
毫秒級別采樣速度
美能Poly5000光譜儀專門針對光伏應用客戶設計并開發(fā)，光譜范圍300~1100nm，光斑70μm，適用光伏行業(yè)的測試環(huán)境及條件。配合美能的光譜擬合法，最終擬合獲得薄膜厚度和光學常數(shù)，實現(xiàn)超廣測量范圍20nm~2000nm和0.5nm的超高重復性精度。
全新智能地操作體驗
美能Smart Poly操作軟件，快速、智能且易于使用。使用直觀且用戶友好的獨立PC程序無需用戶自己編寫任何代碼即可快速表征材料。操作軟件確保準確的結(jié)果，以便對材料進行廣泛的電氣表征。
Poly膜厚在線監(jiān)控
?99%Poly-si沉積工藝監(jiān)控，提高產(chǎn)品良率
?非接觸、無損測量，零碎片率，保證生產(chǎn)效率
?提高產(chǎn)線自動化生產(chǎn)水平，機器自動測試代替人工離線測試，節(jié)約人力成本
?測試速度快，單片測試時間＜0.5s
?膜厚重復性測量精度：＜0.5nm（100次連續(xù)測試）
| 項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 光譜范圍 | 300nm~1100nm |
| Poly膜厚測試范圍 | 20nm~2000nm |
| Poly膜厚測試精度 | ±1nm |
| Poly膜厚測試重復性 | 0.5nm（單點靜態(tài)100次測試標準偏差） |
| 測試速度 | ＜0.5s/5點 |
| 測試點數(shù) | 5點（5點測試具體方位：中心點位上下左右間隔60nm） |
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