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高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050

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更新時間：2025-01-10 13:25:45瀏覽次數(shù)：64次

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產(chǎn)品簡介

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學系統(tǒng)，可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察，高品質TEM樣品制備，電路修復，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。

詳細介紹

概述

產(chǎn)品參數(shù)

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學系統(tǒng)，可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質TEM樣品制備，電路修復，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。

產(chǎn)品參數(shù)

項目	內(nèi)容
樣品尺寸	50mm×50mm×12mm（t）以下
樣品臺	5軸電動機械優(yōu)中心馬達臺
加速電壓	1～30kV?。?.5kV～　選配）（0.5～1.0kV ：步長0.1kV）（1.0～2.0kV ：步長0.2kV）
二次電子分辨率	4nm＠30kV
探針電流	90nA
探針電流密度	50A/cm2